Aus den alten Filmen ist das recht einfach: Darth Vader, Boba Fett und dann Yoda.
Bei den Neuen wirds schwerer, auf dem ersten Platz würde ich Jango Fett (und mit ihm alle Klontruppen, Commander, ARCs und RCs) nehmen, danach auf ein und demselben Qui-Gon und Count Dooku. Der Dritte hat wieder...