Maul ist mir zu oberflächlich, als dass ich seinen Auftritt in TPM als teuflisch bezeichnen möchte.
Grievous ist nahe dran an einer Witzfigur und wirkt auf mich niemals auch nur im entferntesten teuflisch.
Dooku ist cool, wirkt aber eigentlich nie teuflisch. Es ist ja geradezu ein Stilmittel von Dooku nett und freundlich zu wirken.
Die meisten Auftritte von Vader sind sehr cool. Da ist z.B. die Szene wo er Luke in der Wolkenstadt empfängt. Klar sein bester Auftritt ist, als er den zweiten Todesstern betritt (Der Einsatz von Dampf, die Musik, die Kamera, - genial).
Sidious ist immer für einen teuflischen Auftritt gut. Mir lief z.B. ein Schauer über den Rücken, als er das erste mal in Episode I als Hologram erschien. Auch die Szene als er nach Vader Rettung durch den Regen geht ist sehr gut.
Mein bisheriger Favorit war immer die Ankunft des Imperators auf den Todesstern. Geniale Stimmung und der Imperator wirkt nochmal erheblich dunkler als Vader, während sie sich unterhalten.
Aber der neue Spitzenplatz gehört die Szene, wo Sidious zum verletzten Vader geht und ihm die Hand auf die Stirn legt.
Ein Bild wie aus der Hölle, Sidious hat hier praktisch nichts menschliches an sich.

Geniales Schauspiel von Ian und tolle Arbeit aller anderen Beteiligten.
Meine Rangfolge:
1. Sidious legt Vader die Hand auf die Stirn
2. Der Imperator betritt den Todesstern II
3. Vader betritt den Todesstern II
PS: Waren jetzt nur Auftritte im Sinne von Auftritt/Erscheinen gemeint oder auch weitere Szenen, wo die Bösen irgendwie teuflisch rüberkommen (da würden mir noch ein paar Tolle einfallen

)